真空电子束焊接方法
来源：/news_article?news_id=138 发布时间：2021-11-11
真空电子束焊接方法：真空电子束焊接工艺是将被焊工件置于真空环境中使用定向高速运动的 电子束流撞击工件使动能转化为热能而使工件熔化进行焊接的办法，由于电 子束高的能量密度使焊缝较窄，深宽比大，焊接应力和变形较小，在半导体 的溅射领域得到了广泛的应用。
现有技术公开了一种焊接办法，包含如下步骤（1）焊前预备清洗靶 材坯料和背板，并将其移至真空室内进行阻隔抽真空；（2）预热焊缝；（3）实施第壹次真空电子束焊接；（4）把完成的靶材坯料组件进行真空保温；（5）实施第贰次真空电子束焊接；（6）淬火对完成的耙材坯料组件取出真空室，进行急冷淬火。
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